【课程推荐】KLA Instruments | Webinar课程：F54-XY-200 自动化薄膜厚度测绘仪的介绍及应用

2020-12-11 16:11:27, 优尼康优尼康科技有限公司

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KLA Instruments | Webinar课程：F54-XY-200 自动化薄膜厚度测绘仪的介绍及应用。

※适合新老客户了解学习膜厚仪的使用；加深对新产品的理解。

FILMETRICS

KLA Instrument Filmetrics 新推出的F54-XY-200 系列自动化薄膜厚度测绘系统，在原有Filmetrics行业领先光谱测量技术的基础上，集成了高准确率与重复性的自动化机械平台 (+/- 1微米)，并添加了简单易用的智能模式识别功能。

F54-XY-200系列产品有着微米级别的小光斑测量以及波长范围 190纳米至1700纳米的宽广测量范围优势，使其可被广泛应用于介电薄膜，半导体薄膜，光刻胶以及复杂多层薄膜结构的膜厚测绘。

本次网络研讨会将介绍基于硅片的薄膜厚度和光学性质测绘的配方设置。此外，我们将探索智能模式识别功能的配方设置以及在半导体化学机械研磨领域的典型应用来加深您对自动化薄膜厚度测绘的理解。

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Marco Tsui 是Filmetrics 光学轮廓仪以及薄膜测量仪相关产品的应用工程师。Marco 于2012年加入Filmetrics亚洲应用实验室，主要提供亚洲地区的销售与技术支持。在加入Filmetrics之前Marco曾在tsmc服务，主要负责工艺监控中所需要的智慧化半导体量测技术与管理。Marco在台湾中正大学获得工程硕士学位。

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