应用文献

微电子超纯水应用中总有机碳 TOC 监测的操作、 校准和自动归零的指导


  在微电子超纯水(UPW)应用中,水系统中的总有机碳(TOC)浓度极低,通常为亚ppb级。本文介绍如何优化微电子超纯水应用中的在线总有机碳分析,包括操作步骤指导。苏伊士等厂商生产的分析仪,检测限均在0.02至0.03ppb之间。典型的超纯水系统的TOC浓度在0.2至0.4ppb之间,或者说仅比分析仪的检测限高一个数量级。当要测量的TOC浓度非常接近分析仪的检测限时,我们可以优化分析仪的性能以获得理想的测量结果,但此时的校准方法必需有别于测量高TOC时所采用的校准方法。



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