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Centrotherm 卧式热反应系统-E1200/初步小规模生产的卧式炉-E1550/大批量生产的卧式炉-E2000
可用作常压CVD、LPCVD、PECVD、扩散、氧化、退火等工艺过程,以优良的品质、极小的体积、低成本的特点,特别适合低产量、多工艺适应性加工要求的研发或小批量生产。
二、 工艺特性
常压工艺
LPCVD工艺
PECVD工艺
三、 产品特性
最多可搭配4组石英管或碳化硅管反应炉;
清洁的自动载舟系统;
反应炉独立控制提供了优质的小批量或复杂工艺能力;
先进的水冷却系统设计杜绝反应炉的温度干扰不耗用洁净室空气;
设备参数:
反应炉使用晶片尺寸:150mm(最多50片)或200mm(最多25片)
加热系统:3组300mm恒温区,温差0.5℃;
温控范围:200℃~1300℃;
可处理工艺气体种类:H2、Ar、N2O、N2、SiH4、NH3、B2H6、PH3、SiH2Cl2;
系统总功率:55kW
电源供给:400V.80A;
压缩空气:600~1000kPa;
冷却水流量:50~70LPM
排气能力:400m3/H
该炉可高达4层石英管或SiC工艺管, 其硅片尺寸可达300毫米的。凭借其低维护和运行成本、及占地面积小等优势, E1550 可以生产出极具成本效益的产品。
特点:
适用于常压以及LPCVD和PECVD工艺特殊工艺腔体3或4种版本可供选择先进的冷却系统:不同炉管之间没有热干扰全自动片架传送系统模块化部件设计,便于在洁净室安装调试
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