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更多细节尽收眼底,工作更高效
看到更多细节意味着工作更高效。为快速扫描达到 6" 的大组件,DM3 XL 提供独特的宏观物镜。
利用 0.7x 放大倍率,它可以即刻采集 35.7 mm 的视场 – 比其他常规扫描物镜宽敞 30%。
在宏观物镜下,缺陷无所遁形:
提高您的收益率
可靠检测晶片边缘或中心显影不足的区域
检测不均匀的径向膜厚度
适用于所有相衬观察方法的 LED
DM3 XL 针对所有相衬观察方法使用 LED 照明。LED 照明可提供恒定的色温,并在所有亮度等级下提供真彩色成像。
在所有亮度等级下实现真彩色成像
自由调节
无需更换灯泡 – 无停机时间
可复制的结果
由于 LED 使用寿命长,耗电量低,因此还具有巨大的成本节约潜力。
光学“高手”
DM3 XL 让您以实惠的价格享受到卓越的光学性能。
采用斜射照明检验侧面、边缘或碎屑:以简单有效的方式从不同角度照亮样品,从而实现各种形貌的可视化。
借助深暗场对比检测样品较低层中的微小划痕或小颗粒。
您将对明显提高的灵敏度和分辨率感到震惊。
不同样品 – 可变载物台插件
无论您想要检验的样品是哪种类型,尺寸如何,均有种类丰富的载物台插件供您选择:
载物台尺寸:150 mm x 150 mm
载物台插件:金属插件、晶片支座或掩模支座
快速的粗略或精准载物台定位
徕卡显微镜Leica DM3 XL 微电子和半导体用检验系统快速的粗略或精准载物台定位,Leica DM3 XL
徕卡显微镜Leica DM3 XL 微电子和半导体用检验系统快速的粗略或精准载物台定位信息由圆派科学仪器(上海)有限公司为您提供,如您想了解更多关于徕卡显微镜Leica DM3 XL 微电子和半导体用检验系统快速的粗略或精准载物台定位报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
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