重量 | 117 kg | 外部尺寸 | 550×690×956(LF口) 550×690×970(CF口) |
最大真空度 | CF:5E-5;ISO-K:5E-5 Pa | 抽气速率 | N2:600 He:380 H2:240 Ar:580 L/s |
应用领域
材料科学:分子泵可以用来去除以及控制材料内部的杂质、气体。同时,可以利用分子泵提供的低压量级实现材料的新型制备,如物理气相沉积。
技术指标
进气口法兰:DN160 CF DN160 ISO-K
排气口法兰(ISO-KF):DN40
测量范围(Pa):1E-5~1E5
抽速速率(L/s):N2:600 He:380 H2:240 Ar:580
压缩比:N2:1E9 He:1E4 H2:1E3 Ar:1E9
极限压强(Pa):CF:5E-5;ISO-K:5E-5
建议启动压强(Pa):100
前级泵型号:RV6(default)
冷却方式:水冷/风冷
冷却水流量(L/min):>1
冷却水温度(℃):≤25
输入电压频率(V/Hz):380±20/50HZ 220±10/50HZ
环境温度(℃):水冷方式 Water cooling 5℃-40℃风冷方式 Air cooling 5℃-32℃
安装方式:垂直
适配电源型号:FD-ⅡB(非标)/TCDP-Ⅱ(标准)
外形尺寸L*W*H(mm):550×690×956(LF口) 550×690×970(CF口)
重量(kg):117
产品特性
![](https://ibook.antpedia.com/attachments/att/image/20221220/1671511171556681.jpg)
FJ-620型分子泵机组应用于材料科学,FJ-620
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