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CXF-200/1401型磁悬浮分子泵
工作原理
磁悬浮分子泵的转子由磁性材料组成,在泵体外设置电磁铁组成的电磁轴承,实现转子的悬浮。转子内部有许多个密封气室,每个气室内都有切向切割器和离心器组成的分子泵结构。在转速高达30,000 rpm时,分子泵结构产生了高速旋转的气体抽气运动,从而实现了对气体的抽排。应用于半导体、光伏、平板显示、装饰镀膜、功能镀膜、科学研究、新能源、新材料、高能物理。
产品特点
节能:无摩擦,避免热损耗、较其它类型产品能耗降低30%
高效:更长的连续工作时间、高气流量和高抽速
灵活:紧凑型结构,满足更小的物理空间需求、任意角度安装,适合各种设计需求、丰富扩展功能,满足客户定制化需求
技术指标
CXF-200/1401型磁悬浮分子泵应用于新材料, CXF-200/1401
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金风送爽,丹桂飘香。9月22日至24日,第六届粤港澳真空科技创新发展论坛暨广东省真空学会学术年会在广州科学城成功举办,同期举办“先进微纳制造技术与前沿应用高峰论坛”,作为中国尖端科学仪器和真空技术的引领者,中科科仪受邀出席,分享半导体行业专用磁悬浮分子泵技术。本届展会由广东省真空学会、广东省真空产业技术创新联盟主办,广州今泰科技股份有限公司承办。会议特邀十余位国内外著名专家和行业龙头企业做大会报告,交流真空技术在电子信息、半导体器件、新能源开发、工模具涂层
磁悬浮分子泵产品是集成电路制造装备的关键核心零部件,为工艺刻蚀、离子注入、薄膜沉积等半导体制造关键工艺过程提供所需的高洁净度超高真空环境。由于半导体产业链价值较高,对其生产工艺中的各项装备可靠性要求极其严苛。磁悬浮分子泵作为关键核心零部件,不仅需满足半导体制造装备的各项工艺技术指标,还需要满足其苛刻的安全性、可靠性要求。今天,小编特向您介绍中科科仪半导体行业专用CV/CS型磁悬浮分子泵。CV型磁悬浮分子泵主要应用于半导体刻蚀装备,其中,C代表耐腐蚀性能,V
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