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SBC-2型试样表面处理机
离子溅射仪为二极结构,通过台和样品架为正电极连接仪器外壳并且接地,负电极(加负高压)为溅射靶电极。其在玻璃罩的真空腔内被安装,当腔内达到一定真空度,其中在电场加速下,足够能量为正离子所获得来对负电极上的靶面进行轰击,靶面被溅射原子于基台的样品表面沉淀使得导电膜形成,提供来被上述仪器进行分析。
产品特点:
抽速快
操作简便
真空度高
安全可靠
技术指标:
金靶尺寸:Φ38 mm;
试样台尺寸:Φ40 mm;
钟罩尺寸:Ф250 mm x H340 mm;
蒸发镀玻璃罩尺寸:Φ88 mm x H140 mm;
溅射镀玻璃罩尺寸:Ф88 mm x H57 mm;
应用领域:
该仪器为扫描电镜和电子探针等进行试样制备的设备,可进行真空蒸碳、真空镀膜和离子溅射。
SBC-2型试样表面处理机用于溅射靶电极, SBC-2
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