随着电子技术的不断发展,对于精密微小(纳米级)的微电子器件,要去测试它的基本电性能或磁性能,就需要有一种高精度探针座,通过显微镜将被测元件放大,用高精度微探针进行扎针,外部连接测试主机进行测试和分析。
Adgarde 室温磁场探针台(PSM-PM-4)为样品材料在磁场下提供一个测试环境,外部连接测试主机可用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要的霍尔参数。还可以在室温下对芯片、晶圆和器件进行非破坏测试。(我们可定制PSM-PM-2、4、6、8寸探针台)
稳定的双位移调节系统
1.样品座可以放置最大8英寸的晶圆样品,通过移动样品座下面的滑台,可以实现X-Y轴±50的移动行程,并且样品座本身可以进行三维上的精细调节,使得样品测试和换样更加便捷。
2.探针臂底座采用螺钉固定,可使探针在X-Y-Z三个维度上进行调节,并且可以360°旋转,配合样品座位移调节,可满足探针快速扎到样品的任意位置。
极小的漏电性
1.探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头,漏电性 小,漏电流在100fA以内,探针臂内置线缆, 避免杂乱的走线
2.探针采用针套固定,只有针尖裸露在外,减小漏电
霍尔测量便捷易操作
1.无需将线连接到样品上(在传统霍尔测量系统 需连接),就可以探测直径高达51mm的完整或者部分晶片,无需再将晶片切成块状结构。
独特的配置
样品台
光学系统样品座可以放置最大8英寸的晶圆样品,通过移动样品座下 CCD最大放大倍数可达180倍,并附有环形光源,屏幕分辨率高,
面的滑台,可以实现X-Y轴±50mm的超大移动行程,使得样 使得图像清晰可见,可实现100nm的扎针。并且CCD支架有工作和
品测试和换样更加便捷;样品座本身可以进行三个轴上 非工作两种摆放位置。 (X-Y-Z)的精细调节,配合探针臂的移动,可以使得四个
探针扎到样品的任意位置;样品座外层镀金,电导率性能 光学系统 好;多孔吸附,对各种形状的样品固定都非常稳定,同时 显微镜放大倍数
10-180倍 又不会造成对测量的干扰。
光学系统
CCD最大放大倍数可达180倍,并附有环形光源,屏幕分辨率高,使得图像清晰可见,可实现100nm的扎针。并且CCD支架有工作和非工作两种摆放位置。
探针臂
探针臂底座采用螺钉固定,避免了真空吸附在不开启真空泵既无法固定的问题,同时探针臂可以在X-Y-Z三个轴上进行调节,并且可以360°旋转,配合样品座位移调节,可满足探针快速扎到样品的任意位置,探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头,漏电性小,漏电流在100fA以内,探针臂内置线缆,避免杂乱的走线。
上海胤企制冷设备PSM-PM系列手动永磁铁探针台,PSM-PM
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