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准分子激光器:DC 4000
准分子激光器是传统的气体激光器,由于波长短(紫外),短脉冲宽度,高脉冲能量,是激光器家族不可替代的品种!应用上,准分子激光器在脉冲沉积镀膜(PLD),光纤光栅刻写,LASIK,光刻,微纳加工等方面占主导的地位。
DC 4000系列技术参数:
激光介质
ArF
KrF
波长 (nm)
193
248
最大脉冲能量 (mJ)
20
40
最大重复频率 (Hz)
4000
最大平均功率 (W)
80
160
脉冲能量稳定度(sigma, %)
< 2
光斑尺寸 (VхH, mm)
14 х 2.5
光束发散角(FWHM, mrad, VхH)
3.5 х 1
脉冲持续时间 (FWHM, ns)
17 – 20
冷却方式
水冷
重量 (kg)
360
尺寸 (LхWхH, mm)
1890 x 810 x 1840
电源
220/380 V, 50 Hz, < 7000 VA
DC 4000主要特点:
非常高的重复频率高达6千赫高平均功率达160w金属陶瓷设计使用寿命长能量稳定性好特性HV固态开关功率稳定计算机控制
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应用:
材料加工激光剥离
关于俄罗斯OptoSystems公司:
俄罗斯OptoSystems公司位于莫斯科,隶属于俄罗斯科学院基础物理研究所物理仪器中心(Physics Instrumentation Center,A.M.Prokhorov’s General Physics Institute)。雇员超过40人。俄罗斯OptoSystems公司最重要的产品是准分子激光器。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统(LASIK),该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有数台已经在中国安装。俄罗斯OptoSystems公司的产品线还包括脉冲CO2激光器,YAG激光器等。
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