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准分子激光器:CL 7500
CL 7500系列技术参数:
激光介质
ArF
KrF
波长 (nm)
193
248
最大脉冲能量 (mJ)
100
250
最大重复率频率(Hz)
CL7520
20
CL7550
50
大平均功率 (W)
2
5
12.5
冲能量稳定性(sigma, %)
< 2
光斑尺寸 (VхH, mm)
20 х 6
光束发散角(FWHM, mrad, VхH)
< 0.2 х 0.2
脉冲持续时间 (FWHM, ns)
线宽(pm)
< 3
空间相干性(mm)
> 5
时间相干性(mm)
> 10
冷却方式
水冷
重量(kg)
没有光学表
450
尺寸 (LхWхH, mm)
2000 х 800 х 750
电源
220/380 V, 50 Hz, < 7000 VA
CL 7500主要特点:
MOPA激光系统(主振荡器功率放大器)
由两个激光器CL7020或CL7050基于单光平台组成
相关图片:
应用:
布拉格光栅
激光诱导荧光技术
关于俄罗斯OptoSystems公司:
俄罗斯OptoSystems公司位于莫斯科,隶属于俄罗斯科学院基础物理研究所物理仪器中心(Physics Instrumentation Center,A.M.Prokhorov’s General Physics Institute)。雇员超过40人。俄罗斯OptoSystems公司最重要的产品是准分子激光器。同时OptoSystems公司还开发出准分子激光器视力屈光矫正系统(LASIK),该系统已经获得中国政府颁发的销售许可证,并有数台已经在中国安装。俄罗斯OptoSystems公司的产品线还包括脉冲CO2激光器,YAG激光器等。
准分子激光器:CL 7500,CL 7500
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CL 7500主要特点:MOPA激光系统(主振荡器功率放大器)由两个激光器CL7020或CL7050基于单光平台组成
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