AZtecFeatureSEM专用颗粒物分析系统 — 牛津仪器 半导体制造(牛津仪器)

牛津仪器SEM专用颗粒物分析系统 — AZtecFeature参考多项行业标准Oxford Instruments。完成Power Semiconductors的检测。可以用在高分子材料行业领域中的Power Semiconductors项目。

半导体制造解决方案

SEM专用颗粒物分析系统 — AZtecFeature

zei新推出的AZtecFeature是一款速度更快、使用更方便的颗粒物分析系统。结合大面积能谱的高速及高灵敏性优势，整合于高性能强易用的AZtecEDS 分析平台中，当之无愧成为目前市场上zei先进的颗粒物分析检测系统。

使用AZtecFeature经典导航模式，即使初学者也可以快速方便的获得整个样品中几千甚至几万颗粒的信息。且支持一键自动输出每个颗粒的坐标、形貌以及化学成分等信息。

目前牛津仪器可以支持一台SEM同时配备4个zei大面积150mm2的X-MaxN能谱仪，获得晶体活区面积总计高达600mm2；且同时使用基于XPP算法及硬件修正方法的Tru-Q引擎，使得颗粒物分析系统的速度及准确性大大提高。

亮点：

• SEM中颗粒物自动分析系统 — 启动简单，几秒内出结果

• 可分析样品中超过200,000的纳米尺度颗粒

• 自带阈值，自带分类方法，自带安装导航

• 多探测器可有效提高颗粒物检测速度，且减少阴影效应

• 高准确性的成分分析

快速、强大

• 新一代X-MaxN SDD探测器进一步拓展了电制冷能谱仪的潜力——低计数率下实现高空间分辨率；高计数率下实现快速分析的性能

• 根据不同检测需求选择多种探测器型号

• 同一台SEMzei多可以同时配备4台能谱仪，即使对起伏样品或激发产额极低的样品也可以轻松检测

• 64位系统，实现真正的多任务同时工作

• 可以分析一个样品中超过200,000的颗粒

• 同时检测，观察样品形貌、成分及分类信息

• 实时或后处理所有颗粒物份分类方法

• 检测的同时，可以随时输出报告

准确

• AZtecFeature包含独有的硬件参数修正的Tru-Q引擎，无需用户过多设置，即可自动获得准确的定量结果

• **的和峰校正功能保证即使在极高的计数率下也可以获得准确定量结果

易用

• 无需费力设置各种参数，即使对于未知样品，也可以几秒钟内获得准确定量结果

• 自动获得形貌及化学成分，并且同时将所有颗粒物分门别类

• 所有参数以文件形式保存，方便多次调用，也方便不同设备拷贝调用

       几秒内即可识别出颗粒                       增加成分信息...并快速、准确对整个样品自动分析

AZtecFeature——将自动化及灵活性推向**

几秒钟即可获得结果

         自动颗粒物分析就是如此简单！立刻获得颗粒物信息：点击一个颗粒，其他所有相似灰度的颗粒立即高亮显示，并且显示所有高亮颗粒的形貌信息。

• 实时获得形貌信息

• 颗粒尺寸、形状、长宽比等同时显示

• 可以手动微调灰度阈值、或图像过滤等参数方便去除噪音或颗粒分割等

成分信息添加如此简单……

        由于AZtecFeature是完整的一体化设计，添加成分信息的方法已经简化至**……

• 自动采集每个颗粒物的EDS谱图

• 使用现有设置作为谱图处理方法

• Tru-Q引擎保证定量结果准确性

• 一键点击，立刻生成相应分类方法

区域设置更加简单

        单一视场到多个视场甚至多个样品的采集区域设置更加简单：

• 根据导航提示，步步生成多个视场或多个样品的采集区域

• 区域设置可以保存，支持多次使用

• 每个样品，皆可以自动采集几千个视场获得超过200,000颗粒的信息

• 系统控制样品台自动移动逐一检测所有颗粒的形貌、成分信息，并拼接为一大视场图形。并也可以随时切换查看其中单一视场的信息

• 采集过程中，可以随时切换"大视场”并放大查看任一细节

• 重新定位任一视场做进一步分析

• 灯丝断后，系统自动暂停，保证所有采集结果的有效性

报告输出

       以列表形式自动获得颗粒物包括形貌信息、成分信息以及分类信息等

• 采集过程中，也可自动输出报告表格

• 各种直观的图表以Word形式一键输出

• 散点图、详细的数据信息也可以以Excel表格一键输出

包括形貌及化学成分，输出信息更全面

不同于光学技术，AZtecFeature不仅可以提供尺寸、形状等形貌信息，更可以提供包括元素成分，甚至多种信息相结合的综合信息。

颗粒分析系统可以应用于不同领域中，且由于行业不同，所需数据信息多有差异，针对不同行业，该软件提供量身定制的各种行业所需的数据库及报告模板，方便批量测量，且一键输出报告。

AzecFeature 应用：

• 清洁度测试——专为电子器件、半导体、汽车工业等污染物检测而设计

• 发动机磨损测试——评估液压传感器中清洁度级别，监控发动机寿命长短

• 钢铁夹杂物测试——检测金属及钢铁中非金属夹杂物的专业手段

• 鉴证分析——刑侦领域中对案发现场微量残留物的检测

• 矿物地质测试——分析矿物样品相组分及取向特征，分析运动规律

• 空气洁净度监测（PM2.5）——检测空气质量，污染物级别

• 石棉纤维测试——检测样品中纤维形貌并根据成分确认石棉类型

稀相颗粒检测

AZtecFeature是理想的在大块样品中寻找微米级且微量的颗粒或某种感兴趣颗粒的有效方法，是解决“大海捞针”的zei佳选择。

通过电子图像确定颗粒形貌及尺寸等，并同时根据EDS确认其化学成分。刑侦行业中通常使用此技术自动检测如枪击残留物或爆炸残留物等多种关键颗粒的存在及数量。大大降低人力逐一视场搜寻的时间及精力。

大数据——处理大视野样品的数据

AztecFeature可实现自动大面积电子图像及能谱采集的功能，包括纳米级颗粒的分析及统计。AztecFeature可以自动分析样品中几万或几十万的颗粒信息。通过结合形貌及能谱信息，AZtecFeature是一款非常有效的大块样品中颗粒物分析统计系统。

• 大块样品中寻找某微小的相或颗粒

• 做形貌及成分分析并分类别属

• 统计各种相的晶粒尺寸及形状等特征

• 依据之前Mapping数据，做重构，二次提取颗粒信息

AZtecFeature在不同的专业领域有不同的应用：

1． 刑侦领域：AZtecGSR枪击残留物分析

AZtecGSR能在SEM中快速而准确地进行枪击残留物分析：它为 ASTM E1588 - 10e1  提供了可重复的枪击残留物分析结果。AZtecGSR结合了通过引导流程实现的易用性和使用Ultim Max探测器和 Tru-Q® 算法实现的高精度。

2．钢铁产业：AZtecSteel钢铁夹杂物分析

AZtecSteel是一种自动化的钢铁夹杂物分析软件包，利用扫描电子显微镜(SEM)中的能谱分析(EDS)，专用于钢铁夹杂物的分析和分类，使SEM中的钢铁夹杂物分析变得更有效、更准确。它检测、测量并分析夹杂物，将数据结果按照公布的标准方法进行处理，并包含绘制复杂三元相图的功能。

3．矿物分析：AZtecMineral矿物分析软件

AZtecMineral是功能强大的自动化矿物解离分析解决方案。它利用多功能的扫描电镜进行矿物表征，并且为金属回收以及矿物产率的表征提供重要数据。同时，它是进行岩石表征的重要工具，可以代替耗时的光学显微镜分析。AZtecMineral可配备单个或多至四个牛津仪器大面积SDD能谱仪(Ultim Max)，效率更高，在快速采集的同时进行准确矿物分类，以及其他多种功能分析。

4．增材制造：AZtecAM增材制造分析

AZtecAM是一个功能强大、自动化程度高的检测系统，专门用于分析增材制造（3D打印）中使用的金属原材料粉末。它在AZtecFeature平台的基础上优化了颗粒分析流程，以实现金属粉末的快速准确表征。AZtecAM自动检测和识别原材料粉末中杂质颗粒、记录粉末颗粒形貌特征，也可深入研究单个颗粒，提供从形貌到成分、单个到统计的所有信息，是确保完善的增材制造工艺和高品质产品的理想工具。

5．制造业清洁度分析：AZtecClean清洁度分析

AZtecClean是一个功能强大的自动化清洁度分析系统，专门用于制造业的清洁度控制。它利用AZtecFeature平台，自动实现对颗粒物的分析统计，快速表征制造工艺过程的杂质颗粒，控制清洁度。在汽车制造及供应链品质控制，航空制造业，发动机制造，锂电池原材料纯净度控制等领域有很强的应用，帮助提高制造工艺和品质。

AZtecFeatureSEM专用颗粒物分析系统 — 牛津仪器 半导体制造,AZtecFeature

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