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电子束入射到样品上,即可用光学方法接收并分析阴极发光(CL),从而提供样品详细的物理特性。它是一种无损的分析方法,结合电镜可提供与形貌相关的高空间分辨率光谱结果,是纳米结构和体材料的独特分析工具。
HCLUE是一款基于反射镜耦合优化的CL系统,结合了Jobin Yvon光谱技术制造的光谱仪模块,具有高灵敏度性能,适用于弱信号测量。可同时配备两个探测器,以获得更大光谱范围。
原理图
主要特点:
● 反射镜直接耦合
● 高灵敏度
● 扫描成像、线扫描、点测量
● 多种光栅选项
● 多种焦长光谱仪选项:320mm-550mm
● 可配双探测器以获得zei大光谱范围:185nm-2500nm
重点应用领域:
阴极发光光谱仪(CL)是用来表征材料中的缺陷,元素和杂质追踪的强大分析工具,广泛适用于各个应用领域。
1、材料科学
● 半导体和光电材料
● 介电/陶瓷
● 氧化物膜
● 玻璃
2、矿物、地质
● 碳酸岩
● 晶体
● 金刚石
● 锆石、方解石、白云石
3、生命科学
4、公安
CL光谱及成像:
矿物样品中的白云石和磷酸钙。测量使用Flex-CLUE系统,配备iHR320光谱仪和开放电极式CCD探测器。感谢Prof A. Jambon, UPMC France提供数据
左图:使用伪彩色显示350nm-450nm之间发射光谱区。figure 1, Hyperspectral CL mapping中图:电镜下的样品图像。figure 2, SE image右图:对应的光谱,其中不同色彩区域与左图中显示的颜色对应。figure 3, CL spectral (RGB)
高效型CL光谱仪 HCLUE,HCLUE
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