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仪器简介:
质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
技术参数:
满量程流量范围(N2)
5SCCM~30SLM
控制范围
2~100%F.S.
阀类型(及阀初始状态)
电磁调节阀(常闭)
准确度
≤10SLM
±1%F.S.
>10SLM
±2%F.S.
线性
±0.5~1%F.S.
重复精度
±0.2%F.S.
响应时间
≤4sec
工作温度范围
5~45℃
工作压差
0.2~0.8MPa
0.2~0.6MPa
耐压
10MPa
漏气率
1×10-9SCCSHe
密封材料
氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶
接头选择
VCR
1/4”
Swagelok
1/4”、1/8”或φ3、φ6mm
电插头形式
DB15 pin(Male)
抗电磁干扰
CE
重量
1.2Kg
主要特点:
★高耐压性 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★采用DB15型电插头,国际标准机械接头 ★CE认证,国际兼容
D07-11C 质量流量控制器/流量计,D07-11C
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