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仪器简介:
用 途:
质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。 标 准: 气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为: 标准温度………………0℃(273.15K) 标准压强………………101325Pa 输入和输出: 输入电源………………+15V,50mA;-15V,200mA 输入设定电压…………0~+5.00V 输出电压检测…………0~+5.00V
技术参数:
满量程流量范围(N2)
5SCCM~30SLM
控制范围
2~100%F.S.
阀类型(及阀初始状态)
电磁调节阀(常闭)
准确度
≤10SLM
±1%F.S.
>10SLM
±2%F.S.
线性
±0.5~1%F.S.
重复精度
±0.2%F.S.
响应时间
≤4sec
工作温度范围
5~45℃
工作压差
0.1~0.5MPa
0.1~0.3MPa
耐压
3MPa
漏气率
1×10-9SCCSHe
密封材料
氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶
接头选择
VCR
1/4”或φ4hose、φ6hose
Swagelok
1/8”、1/4”或φ3、φ6mm
电插头形式
DB15 pin(Male)
抗电磁干扰
CE
重量
0.95Kg
主要特点:
★高精度,快响应型 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★采用DB15型电插头,国际标准机械接头 ★国际兼容
D07-19B 质量流量控制器,D07-19B
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