角分辨率 | 优于0.1° | 空间分辨率 | 2nm |
CCD相机空间分辨率 | 1244×1024 |
全能型 Symmetry S3 采用专门定制的 CMOS 传感器和光纤光学系统,集高速、高灵敏度和高分辨率衍射花样于一体,是一款能够覆盖绝大多数应用领域的全能型EBSD 探测器。
为所有 EBSD 应用提供优越的品质、灵活易用以及一系列创新设计的功能。亮点包括:· 超高速分析:超过 5700 花样每秒,同时花样分辨率达到 156 x 128 像素· 高分辨花样:高达 1244 x 1024 的分辨率,保留花样每一处细节· 高灵敏度:独特的光纤光学设计,有利于所有的分析,无需在速度和精度间取舍· 高精度 EBSD:角度精度优于 0.05° ,花样图像的畸变控制在亚像素范围内,适合高角度分辨 EBSD· 软件控制的探测器倾转:适应不同工作距离的需求,如 TKD 和大样品
图 1 Symmetry S3 探测器外观
Symmetry S3 的分析速度极高,可在 60 秒内,根据国际标准进行晶粒尺寸表征。在最大速度(花样分辨率 156 x 128 像素)条件下,出色的花样分辨率和光纤光学系统提供的高灵敏度,确保了快速分析不会影响数据质量或 SEM 分辨率。
图 2 在 36 秒内采集的双相不锈钢的晶粒尺寸面分布图( 2352 个晶粒,ASTM 晶粒度 12.6 )
图 3 最大分析速度下的典型 EBSD 花样质量
Symmetry S3 探测器内独特的光纤板光学系统,提供了优异的灵敏度,不仅确保来自束流敏感材料的出色数据,而且对所有样品类型都有性能优势。
图 4 石英( SiO2 )矿物样品的取向面分布图,采集过程仅使用中等束流,速度达到 1900 花样每秒,12 分钟内完成
为了能有效地表征应变,对 EBSD 提出了更高的要求,需要具有百万像素分辨率和更小畸变的花样。Symmetry S3 的花样分辨率达到 1244 x 1024 像素,保证亚像素花样图像畸变,是高角度分辨率( HR )EBSD 的理想选择。
图 5 镍样品中的位错胞结构,分析来自高质量的 EBSD 花样与 AZtec 的高精度标定模式
使用传统 EBSD 探测器很难分析大样品,因为在 SEM 中,它们需要更长的工作距离( WD )进行分析,而这会损害 EBSD 的标准几何位置。Symmetry S3 可以由软件控制倾转探测器前端,以适应不同类型样品对工作距离的要求,保证每个采集都在理想的几何位置。一般 TKD 观察 TEM 薄片样品,需要较短的工作距离;而分析厘米尺度的样品(如原位测试样品或地质薄片)需要较长的工作距离。
图 6 Ti64 合金样品沿外力加载方向的杨氏模量面分布图,样品来自于力学测试,整个视场宽度约为 12 mm
牛津仪器Symmetry S3 全能型EBSD探测器 快速/多功能分析,Symmetry S3
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