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安捷伦 涡轮分子泵的机架控制器 TwisTorr 74 FS AG,TwisTorr 74 FS AG
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SEMI E74-0301 (Reapproved 0307)-2007 涡轮分子泵真空泵接口规范
JB/T 9125-2007 真空技术.涡轮分子泵
GB/T 7774-2007 真空技术.涡轮分子泵性能参数的测量
BS ISO 21360-4:2018 真空技术 测量真空泵性能的标准方法 涡轮分子真空泵
GB 22360-2008 真空泵 安全要求
GB/T 40344.2-2021 真空技术 真空泵性能测量标准方法 第2部分:容积真空泵
DIN 28428:1978-11 真空技术;涡轮分子泵验收规范
SJ/T 11085-1996 立式涡轮分子泵通用技术条件
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DIN 28428:1978 真空技术.涡轮分子泵的验收规则
ISO 21360-4:2018 真空技术.测量真空泵性能的标准方法.第4部分:涡轮分子真空泵
NF X10-510-4*NF ISO 21360-4:2018 真空技术 测量真空泵性能的标准方法 第4部分:涡轮分子真空泵
UNI ISO 21360-4:2020 真空技术 测量真空泵性能的标准方法 第4部分:涡轮分子真空泵
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