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安捷伦 (前Varian/瓦瑞安) RPS罗茨泵组是苛刻的工业应用的理想选择,抽速范围从180~10,000 m3/h! 全球超过15,000台罗茨泵组正在使用!RPS罗茨泵机组包括一台MS系列单级旋片泵和一台RP系列罗茨泵,配备集成机架和管路连接。由五款MS系列旋片泵(抽速从70到630 m3/h)和十余款罗茨泵(抽速从180到10000 m3/h)互相搭配组合,提供精确的解决方案以优化性能、成本和能耗。
为系统集成而优化的设计
用于系统粗抽的理想组合,并可作为扩散泵、分子泵以及其它高真空泵的前级泵;
可选电子部件用于真空系统的连续运行与监控
结构紧凑,易于使用
安捷伦罗茨机组易于使用和安装
风冷设计
高性能的罗茨泵
极高的压缩比
安捷伦罗茨泵可以经受非常大的机械负载,减少抽空时间
极限真空度达5×10-3mbar(4×10-3Torr)
清洁:
非常适合于对清洁度要求很高的应用;
独特的迷宫式密封防止污染物进入齿轮箱;
先进的轴密封技术,防止工艺腔室的污染;
高性能捕集器用于捕获可凝性气体。
牢固耐用、值得信赖
低噪音、低震动,这得益于动平衡转子和精密加工的齿轮装置;
维护周期长;
风冷方式 (水冷为可选项)。
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