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Agilent安捷伦(前Varian/瓦瑞安) MS系列大抽速油润滑单级旋片真空泵,抽速范围从90到630 m3/h,可靠牢固、易于安装,适合于绝大多数实际应用;且结构紧凑,可以很容易地替换其他同等抽速泵。
从大气压到极限真空,运转平稳无间隙,即使在很低的压力下,仍拥有大抽速。
专为达到最低的极限压力而设计,极限分压强达:8 X 10-2 mbar (6 X 10-2 Torr)
采用风冷
- 泵体罩壳设计使空气冷却效率更高
- 集成热交换器带走多余热量
体积比同等抽速泵更小
高效率的油循环系统确保在各种苛刻环境下的润滑和密封
低噪声,低震动
不锈钢转子
铸铁定子和外壳
碳纤维旋片
氟橡胶密封
双(或三)气镇阀,用于抽除高含水气体
进气口防返油隔断阀,在断电时及时减少返油,保持真空
使用去油雾装置,保障在真空泵工作压力全范围内减少油雾排放
配备用于油路循环的浮球阀
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