产品简介
Magma磁场成像显微镜系统（简称Magma）是Neocera Magma公司研发的一种新型半导体失效分析工具。它拥有一套独特的传感器和技术，可以检测和定位所有静态缺陷
Magma具有极大的可靠性，适用于探测开路、短路、漏电和高电阻开路的位置。此外，磁场成像可用于生成3D故障分析的深度信息，甚至可以用于多层器件
在半导体失效分析领域，Magma可以定位微电子系统中的所有静态缺陷（短路、漏电和开路）。它可以容纳Die-level互连的300毫米晶圆、最/终封装的PC板、以及所有类型的封装器件，包括各种具有异质集成的多芯片模块器件、叠层器件、3DICs和SiP。
新型平台的设计使用了终端用户的输入，以提供用户友好型的设置和操作，以及更高的工作量和更低的运营成本。
基础配置：配备高灵敏度的SQUID传感器，用于低电流、无损检测短路、漏电和高电阻开路。可实现低成本定位，用于检测封装器件和PC板中的短路及漏电。
EFI工具：能够以极高的精确度检测失效的开路故障。
HiRes工具：将两个传感器组合成一个工具。在靠近电流扫描时，SQUID传感器用于检测尽可能最小的电流，磁阻传感器用于获得绝\对\最\佳的空间分辨率。因此，其具有两方面的优点：世\界\级的空间定位和灵敏度。
仪器参数
特点 | 详情 |
SQUID 传感器 |
短路缺陷定位 (SQUID) | 3um |
空间分辨率 (SQUID) | 2um |
总扫描面积 (SQUID) | 至少 100mm by 100mm |
当前灵敏度 (SQUID) | · 500nA @ 333um · 1.5uA @ 1000um |
磁敏感性 (SQUID) | 15 pT/√Hz Typical |
成像深度 (SQUID) | 10mm |
工作频率 (SQUID) | DC to 25kHz |
HiRes 传感器 |
短路缺陷定位 (HiRes) | 250nm |
空间分辨率 (HiRes) | 500nm |
总扫描面积 (HiRes) | 至少 100mm by 100mm |
当前灵敏度 (HiRes) | · 5uA @ 2um · 100uA @ 100um |
磁敏感性 (HiRes) | 10nT/√Hz Typical |
工作频率 (HiRes) | 10kHz to 200kHz |
成像深度 (HiRes) | <100um |
其他参数 |
功能发电机 | ±10V @ 100mA |
功能发电机频率 | DC to 200kHz |
镜头分辨率 | 2um (in NIR or Visible) |
电源 | · 110 - 120V @ 20A · 220 - 240V@ 10A |
操作系统 | Windows 10 64-bit |
产品应用
1、该仪器是一种双磁传感器系统，可以将SSM工具的性能扩展到模具(可以是全晶片，也可以是复杂的3D TSV或线焊设备)。该仪器使用非破坏性技术在模具、封装和PC板层面创建设备当前图像。然后，当前图像可以与光学基准和设计数据结合使用，以定位三维静态缺陷。
2、该仪器将超导量子干涉器件传感器(SQUID)的灵敏度与高分辨率磁阻传感器相结合。采用两步方法，通过SQUID可以非常快速地映射设备内部电流产生的磁场，然后通过高分辨率传感器再次进行高精度和分辨率的映射。由于在典型设备中使用的大多数材料都有磁场渗透，所以不需要对设备进行任何方式的反处理就可以开始定位故障。
3、此外，两个传感器均只需要很小的电流，这样可以保护被测设备免受进一步的损坏，并且可能是在尝试检测具有非常高电阻(100k ω)的电路故障时的唯一选择。
4、该仪器可以分析的典型故障包括短路、泄漏和电阻断路。该系统可用于成像交流和/或直流磁场(同样，电流)取决于设备的要求。
磁场成像显微镜系统 Magma SSM HiRes,Magma SSM HiRes
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