技术规格: 仪器尺寸:450mm W x 500mm D x 300mm H (总高 630mm) 工作腔室:硼硅酸盐玻璃 300mm Dia. x 20mm H 安全钟罩:聚碳酸酯 重量:42公斤 靶:54 mm 直径 x 0.3mm 厚x 3(铬作为标配靶材) 旋转样品台:可调的6 至 8 英寸晶圆尺寸,到靶距离60mm 真空范围:ATM-1x10-5 mbar 沉积电流范围:0-450mA 沉积速率:0-15nm/分 溅射定时: 0-4 分钟 电源:230 伏 50Hz(包括泵zei大电流为8安培) 115 伏 60Hz(包括泵zei大电流为16安培) Services Argon - Nominal 10 psi; Nitrogen- Nominal 10 psi (Argon may be used as common gas) 真空泵:No 2. 泵complete with Vac. Hose & Oil Mist Filter 35L/Min 2m3/Hr