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DMD无掩模光刻机 SmartPrint UV System
DMD无掩模光刻机SMART PRINT UV是一种基于DMD投影技术的无掩模光刻设备,可兼容多种光刻胶和基材。SMART PRINT UV可以生产任何微米分辨率的二维形状,而不需要硬掩模。基于改进后的标准投影技术,投影出具有微米分辨率的图像,无掩模光刻机SmartPrint无需任何进一步步骤,就能直接从数字掩模光刻出您要的图。无掩模光刻机SmartPrint主要应用是MEMS, 微流体,二维材料,自旋电子学,生物技术和微电子等领域光刻表面微纳图案。
主要特性:
兼容SU-8、i、h、g线和AZ系统光刻胶等
SmartPrint-UV配备了385 nm LED源,以兼容标准i, h和g线光刻胶,如SU8或AZ®1500系列
适用于各种各样的基材
我们的物镜范围经过精心选择,具有较长的工作距离(高达3厘米),使SP-UV成为一种非接触式技术;除了硅、玻璃、塑料、金属等基材还可兼容非标准基材(柔性薄膜基底,非平的,厚的)。
可调直写范围和分辨率——用户可获得4种不同的直写分辨率
特征尺寸1.5um
兼容任何尺寸的样品,可至5平方英寸
对齐方式直观——反馈相机与第二束590nm准直光源叠加使用
占地空间小,易维护
应用领域:
光器件 微流控 微电子
指标参数:
DMD无掩模光刻机,DMD
DMD无掩模光刻机信息由上海昊量光电设备有限公司为您提供,如您想了解更多关于DMD无掩模光刻机报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
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