产品介绍

大行程纳米平移台（压电马达型，10-150mm行程）

Name: 非球面镜|高数值孔径(S-LAH64)
Brand: 昊量光电
SKU: 10-150mm

XLS系列线性位移平台，是由超声波压电马达驱动，可提供不同行程的精确定位。由于采用超声波压电马达驱动，速度可达到200mm/s，并且该平台适用于扫描，可提供恒定的扫描速度，速度不稳定性低于2%。

该平台采用超声波马达，对于这种马达平台的运动是通过接触点的椭圆振荡产生。如下图所示。通过椭圆的振荡推动平台产生微小移动，并通过高频率产生极高的速度，并且没有噪声，电机在定位后可产生自锁，由于马达在椭圆振荡的上端才会与平台接触，大大提高平台的使用寿命通常在10-100km。

XLS系列平台可提供不同的行程，行程范围可达到92mm。为了适应不同精度要求的应用，平台集成不同精度的位置传感器，根据闭环系统中传感器的精度可分为以下几类线性平台

1）集成-1250位置传感器的压电马达平台-min setp1250nm，

	XLS-1-40	XLS-1-50	XLS-1-60	XLS-1-70	XLS-1-80	XLS-1-100	XLS-1-120
travel range	27mm	32	37	42	50	72	92
resolution	1250nm
unidirectional repeatability	±1250nm
bidirectional repeatability	±2500nm
load capacity	0.5kg
holding force	1N
driving force	1N
max. speed	200mm/s
min. speed	2 to 5mm/s
cable length	1.5m

2）集成-312位置传感器的压电马达平台-min setp350nm

	XLS-1-40	XLS-1-50	XLS-1-60	XLS-1-70	XLS-1-80	XLS-1-100	XLS-1-120
travel range	27mm	32	37	42	50	72	92
resolution	350nm
unidirectional repeatability	±350nm
bidirectional repeatability	±700nm
load capacity	0.5kg
holding force	1N
driving force	11N
max. speed	200mm/s
min. speed	2 to 5mm/s
cable length	1.5m

3) 集成-78位置传感器的压电马达平台-min setp80nm

	XLS-1-40	XLS-1-50	XLS-1-60	XLS-1-70	XLS-1-80	XLS-1-100	XLS-1-120
travel range	27mm	32	37	42	50	72	92
resolution	80nm
unidirectional repeatability	±80nm
bidirectional repeatability	±160nm
load capacity	0.5kg
holding force	1N
driving force	1N
max. speed	200mm/s
min. speed	2 to 5mm/s
cable length	1.5m