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纳米级高速大行程压电马达平移台
XLS系列线性位移平台,是由超声波压电马达驱动,可提供不同行程的精确定位。由于采用超声波压电马达驱动,速度可达到200mm/s,并且该平台适用于扫描,可提供恒定的扫描速度,速度不稳定性低于2%。
该平台采用超声波马达,对于这种马达平台的运动是通过接触点的椭圆振荡产生。如下图所示。通过椭圆的振荡推动平台产生微小移动,并通过高频率产生极高的速度,并且没有噪声,电机在定位后可产生自锁,由于马达在椭圆振荡的上端才会与平台接触,大大提高平台的使用寿命通常在10-100km。
XLS系列平台可提供不同的行程,行程范围可达到92mm。为了适应不同精度要求的应用,平台集成不同精度的位置传感器,根据闭环系统中传感器的精度可分为以下几类线性平台
1)集成-1250位置传感器的压电马达平台-min setp1250nm,
XLS-1-40
XLS-1-50
XLS-1-60
XLS-1-70
XLS-1-80
XLS-1-100
XLS-1-120
travel range
27mm
32
37
42
50
72
92
resolution
1250nm
unidirectional repeatability
±1250nm
bidirectional repeatability
±2500nm
load capacity
0.5kg
holding force
1N
driving force
max. speed
200mm/s
min. speed
2 to 5mm/s
cable length
1.5m
2)集成-312位置传感器的压电马达平台-min setp350nm
350nm
±350nm
±700nm
11N
3) 集成-78位置传感器的压电马达平台-min setp80nm
80nm
±80nm
±160nm
4) 集成-1位置传感器的压电马达平台-min setp25nm
非球面镜|高数值孔径(S-LAH64),10-150mm
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