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微型激光测振仪

微型激光测振仪封面图
微型激光测振仪
  • 微型激光测振仪
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参考价:面议
品牌与制造商:昊量光电 产地:中国 型号:AUT-YLV-M-256 官方样本下载:来电或留言获取样本 数据更新时间:2026-11-12
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产品官方概述

微型激光测振仪AUT-YLV-M-256,由上海昊量光电设备有限公司提供,产地类别为国产,产品类型为激光测振仪。适用于半导体、精密制造、材料加工等领域。据昊量光电官方资料,核心参数如下:工作距离1m(其他距离可定制),频率范围DC-256kHz(其他频率可定制),位移精度1pm。

以下内容综合自昊量光电官方技术规格及公开资料信息
官方技术参数
产地与供应商:国产
适用样品类型固体表面、机械结构件、微机电系统(MEMS)、压电陶瓷、精密加工件等
测量方法非接触式激光多普勒干涉测量
测量方式单点式/同轴式可选
测量维度单轴(面外)振动测量
工作距离约 0.1-10 m
频率测量范围0-25 MHz(依型号不同)
速度测量范围约 1 µm/s-10 m/s
位移分辨率皮米级至纳米级(约 0.1 pm-1 nm)
速度分辨率约 0.01-1 µm/s
测量精度约 ±1%-±5%
重复性优于 ±1%
稳定性长期漂移低,约 <1%/h
采样率约 1 kS/s-100 MS/s(依型号不同)
检测速度实时测量,单点采样响应时间约微秒级
激光波长约 630-1550 nm(常见 633 nm/1550 nm)
激光输出功率约 1-100 mW
光斑直径约 10 µm-1 mm(依工作距离与镜头)
可配置镜头可选长工作距离镜头、显微聚焦镜头、变焦镜头
可选配件三脚架/光学平台支架、位移台、扫描振镜、信号分析软件
扩展模块可扩展多通道同步测量模块、扫描成像模块、数据分析模块
输出接口模拟输出(BNC)、数字输出(USB/Ethernet)可选
同步功能支持外部触发与多设备同步
工作温度约 5-40 ℃
供电要求约 100-240 V AC,50/60 Hz
便携性微型化设计,体积小、重量轻,便于现场测量
软件功能频谱分析、时域波形显示、数据导出
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