微型激光测振仪
参考价:面议
品牌与制造商:昊量光电 产地:中国 型号:AUT-YLV-M-256 官方样本下载:来电或留言获取样本
数据更新时间:2026-11-12
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产品官方概述
微型激光测振仪AUT-YLV-M-256,由上海昊量光电设备有限公司提供,产地类别为国产,产品类型为激光测振仪。适用于半导体、精密制造、材料加工等领域。据昊量光电官方资料,核心参数如下:工作距离1m(其他距离可定制),频率范围DC-256kHz(其他频率可定制),位移精度1pm。
以下内容综合自昊量光电官方技术规格及公开资料信息
官方技术参数
| 产地与供应商:国产 |
| 适用样品类型 | 固体表面、机械结构件、微机电系统(MEMS)、压电陶瓷、精密加工件等 |
| 测量方法 | 非接触式激光多普勒干涉测量 |
| 测量方式 | 单点式/同轴式可选 |
| 测量维度 | 单轴(面外)振动测量 |
| 工作距离 | 约 0.1-10 m |
| 频率测量范围 | 0-25 MHz(依型号不同) |
| 速度测量范围 | 约 1 µm/s-10 m/s |
| 位移分辨率 | 皮米级至纳米级(约 0.1 pm-1 nm) |
| 速度分辨率 | 约 0.01-1 µm/s |
| 测量精度 | 约 ±1%-±5% |
| 重复性 | 优于 ±1% |
| 稳定性 | 长期漂移低,约 <1%/h |
| 采样率 | 约 1 kS/s-100 MS/s(依型号不同) |
| 检测速度 | 实时测量,单点采样响应时间约微秒级 |
| 激光波长 | 约 630-1550 nm(常见 633 nm/1550 nm) |
| 激光输出功率 | 约 1-100 mW |
| 光斑直径 | 约 10 µm-1 mm(依工作距离与镜头) |
| 可配置镜头 | 可选长工作距离镜头、显微聚焦镜头、变焦镜头 |
| 可选配件 | 三脚架/光学平台支架、位移台、扫描振镜、信号分析软件 |
| 扩展模块 | 可扩展多通道同步测量模块、扫描成像模块、数据分析模块 |
| 输出接口 | 模拟输出(BNC)、数字输出(USB/Ethernet)可选 |
| 同步功能 | 支持外部触发与多设备同步 |
| 工作温度 | 约 5-40 ℃ |
| 供电要求 | 约 100-240 V AC,50/60 Hz |
| 便携性 | 微型化设计,体积小、重量轻,便于现场测量 |
| 软件功能 | 频谱分析、时域波形显示、数据导出 |









