磁悬浮转子规 VIM-2(替代 MKS SRG-3)

Name: 磁悬浮转子规 VIM-2(替代 MKS SRG-3)
Brand: ph-instruments
SKU: VIM-2

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参考价：面议

品牌：ph-instruments 产地：奥地利型号：VIM-2 样本：点我免费下载样本

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型号	品牌	PIPES指数
XGS-600	安捷伦	8.3
VC900	KNF	8.1
CaliTorr	ph-instruments	7.9

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参数

产地类别：进口	供应商性质：总代理	真空接口：KF
量程：10 mbar 至 5 x 10-7 mbar	测量原理：SRG 旋转转子技术

样品类型	气体
测量方法	磁悬浮转子真空测量原理
测量方式	连续测量
测量范围	2×10^-6 至 1×10^-1 Torr
等效氮气测量范围	2.66×10^-4 至 13.3 Pa
精度	读数的 ±2% 至 ±5%
重复性	优于读数的 ±1%
分辨率	读数的 0.1%
稳定性	0.1% 满量程/年至 0.5% 满量程/年
响应时间	≤100 ms 至 1 s
检出限	2×10^-6 Torr
工作温度范围	10-50 ℃
存储温度范围	-20-70 ℃
供电电压	±15 VDC 或 24 VDC
功耗	≤5 W
模拟输出信号	0-10 VDC
数字通信接口	RS-232、RS-485、Ethernet
可配置通信协议	DeviceNet、Profibus、Modbus
可配置法兰类型	KF16、KF25、CF35、CF63
可配置安装方向	任意方向
可配置电缆长度	1-10 m
可配置显示模块	本地显示、远程显示
可配置继电器输出	2-4 路设定点继电器
可配置扩展模块	多传感器控制模块、温度补偿模块
过压保护	≤10 bar
抗辐射版本	可选，耐受 10^6 Gy
预热时间	≤10 min
重量	≈0.5-1.5 kg
外壳材质	不锈钢、铝
接液材质	不锈钢 316L、镍铁合金
防护等级	IP40 至 IP65
安装位置	室内、真空系统任意位置
替换兼容性	可直接替代 MKS SRG-3
磁场敏感性	低，耐受 ≤5 mT
振动敏感性	低，耐受 ≤2 g

产品介绍

因产品配置不同, 价格货期需要电议, 图片仅供参考, 一切以实际成交合同为准

上海伯东代理德国 ph-instruments VIM-2 移动式磁悬浮转子真空计, 既可固定使用(采用网格式操作)又可移动使用, 显示器内置锂电池, 方便携带. VIM-2 采用 SRG 旋转转子量规技术. 在 0.01 至 1 x 10-6 mbar 精度 1 %. 长期稳定, 不受温度的影响.

磁悬浮转子真空计 VIM-2 特性
SRG 旋转转子技术
显示器内置锂电池, 防止因突然断电导致的损坏
方便携带
多种通讯方式, 可以软件连线
自主: 物理测量方式, 不需要电离等过程
高精度测量: 在 0.01 至 1 x 10-6 mbar 精度 1 %
长期稳定, 不受温度的影响
全金属设计
超清洁, 坚固, 耐腐蚀和沉积
典型应用: 离子注入, 干法刻蚀, 真空绝缘, 显示面板, 科研, 计量级真空计校准系统

ph-instruments VIM-2 移动式磁悬浮转子真空计技术规格

测量原理	SRG 旋转转子技术
测量范围	7 Torr 至 4 x 10^-7 Torr (10 mbar 至 5 x 10^-7 mbar)
精度	7 Torr 至 0.07 Torr & 10 mbar 至 0.1 mbar 约读数的 10 %； 0.07 Torr 至 7 x 10^-7 Torr & 0.01 mbar 至 1 x 10^-6 mbar 读数的 1 %
长期稳定性	< 每年 1 % 的漂移
接液材料管/球	1.4404, 1.4034
安装方式	水平
模拟接口	USB Type C、蓝牙、15pin
数字接口	USB、蓝牙、RS 232、RS 485
远程控制	Win 7/10
工作温度	电子元件 10 °C 至 40 °C 测量头 10 °C 至 50 °C 传感器管可烘烤至 150 °C 弹性体密封,450 °C 金属密封
电源要求	18 ~28 VDC
模拟输出	0 - 10 VDC 可配置
法兰类型	KF 25, 8 VCR, 焊接

ph-instruments VIM-2 移动式磁悬浮转子真空计应用
半导体: 离子注入 (替代离子规), 离子刻蚀 IBE, CVD, PVD, 在不打开真空室的情况下进行故障排除和安全检查
低温真空绝缘: 液化气体存储或者运输, 真空绝缘监测, 所有导电真空绝缘应用
真空计校准系统

若您需要进一步的了解 SRG 磁悬浮转子真空计详细信息或讨论
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德国 ph-instruments 磁悬浮转子真空计新机销售和售后维修

上海伯东德国 ph-instruments 磁悬浮转子真空计中国总代理,全权负责新机销售和售后维修服务, ph-instruments 磁悬浮转子真空计高精度耐腐蚀,基于旋转转子 SRG 技术开发,计量级真空规,在 0.01 至 1 x 10-6 mbar 精度 1 %.长期稳定. 全金属设计的数字规.ph-instruments 磁悬浮转子真空计测量从大气压到高真空的压力.可替代离子规.联络方式 13918837267(微信同号)