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皖仪科技IC7000AMC在线监测系统
参考价：面议
品牌：皖仪科技 产地：安徽 型号：IC7000 样本：来电或留言获取样本
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参数
| 产地类别：国产 | 供应商性质：生产商 | 测定离子种类：钠离子 |
| 价格范围：5万-10万 | 应用场景：在线式 |
产品介绍
随着半导体制程不断逼近摩尔极限，气态分子污染物（AMC，包括酸、碱、有机物等）的痕量级管控已成为影响芯片良率与产能的关键因素。安徽皖仪科技股份有限公司依托高精度质谱、色谱领域多年的技术积淀，推出专业化的AMC监测解决方案，以高准确与稳定性、全自动化的仪器体系，以AI赋能，为半导体洁净室环境、机台环境提供专业化监测服务。
通过整合离子色谱与气相色谱质谱联用仪，可同时在线监测阴阳离子（F⁻、Cl⁻、Br⁻、NO₃⁻、NO₂⁻、SO₄²⁻、PO₄³⁻、NH₄⁺等）和116种VOCs（包括苯系物、卤代烃、醛酮、掺杂剂、溶剂、副产物等），实现PPT级酸、碱、有机物全面监控。
通过整合CRDS、化学发光、紫外荧光、PID等原理之分析仪，可同时在线监测HCl、HF、SO₂、NOₓ、O₃、NH₃、TVOC等气态分子污染物，实现PPB级酸碱有机物的全面监控。
皖仪科技IC7000AMC在线监测系统信息由安徽皖仪科技股份有限公司为您提供，如您想了解更多关于皖仪科技IC7000AMC在线监测系统报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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