普发真空HiPace 700涡轮分子泵

可靠

同类产品中优秀的混合轴承技术，卓越的轴承润滑，使用寿命长

高气体流量

高抽速，与多种前级泵兼容，对轻质气体具有出色的压缩比

性能优秀

优化转子几何形状，提高气体负载处理能力

抽速

市场和应用

分析及实验室

实验室真空

等离子体物理

高能物理

质谱分析

太空探索

超高真空

车辆及运输

热处理

泄漏检测和 EoL 测试

太空探索

电子束焊

3D 打印

发电

绿色能源生产

医院和医疗设施

质谱仪

医用加速器

诊断成像

氢气

泄漏检测和 EoL 测试（主控）

锂电池生产

泄漏检测和 EoL 测试（主控）

冶金

电子束焊

真空铜焊 / 钎焊

3D 打印

热处理

制药行业

实验室真空

制冷

泄漏检测和 EoL 测试

科学仪器

质谱分析

表面分析

半导体应用

PVD

检验与计量

金属和高 K 蚀刻

LPCVD / 扩散

光刻技术

氧化物蚀刻

剥离 / 灰化

ALD

PECVD

Si Poly etch

Load lock 和 传输

轻沉积

离子注入

技术气体

装瓶

薄膜镀层

实验室涂层

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