Semicon AMC 飞行时间质谱

超快、超灵敏、AMC 实时监控
灵敏、准确、可靠地监测来自不同分子类别的已知和新出现的污染物。.
传统的 AMC 监测解决方案通常需要多个传感器才能充分测量需要监测的全部化合物。TOFWERK Semicon AMC 监测器只需一个解决方案，即可同时对多个 AMC 类别进行稳健的测量。

快速检测早期污染事件并做出反应。.

超快同步测量 AMC，包括酸、碱、可缩合物和 VOCs。.

Semicon AMC 飞行时间质谱可对最低浓度进行灵敏检测。

AMC	中科院	分子	2s 检出限（ppbv）	1 分钟检测限（ppbv）
丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA）	108-65-6	C6H12O3	0.0065	0.0012
丙二醇甲醚（PGME）	107-98-2	C4H10O2	0.052	0.0094
甲基乙基酮（MEK）	78-93-3	C4H8O	0.421	0.075
醋酸乙酯（EA）	141-78-6	C4H8O2	0.104	0.019
环戊烷	287-92-3	C5H10	0.132	0.023
丙酮	67-64-1	C3H6O	0.002	0.0009
甲苯	108-88-3	C7H8	0.012	0.003
氨气	7664-41-7	NH3	0.408	0.072
氟化氢	7664-39-3	高频	0.011	0.0002
盐酸	132228-87-6	盐酸	0.526	0.095
硝酸	7697-37-2	HNO3	0.0072	0.0013
氯	7782-50-5	Cl2	0.001	0.0002

对整个工厂进行全面的污染控制。.

在不同工艺之间运输前端开口统一模块（Front Opening Unified Pods）是工厂中最大的污染风险之一。 FOUP 清洁受限于 AMC 筛选的灵敏度、速度和覆盖范围。.

半导体制造由许多独立的流程组成。为了捕捉早期污染事件，灵敏的 AMC 监控是工厂基础设施的重要组成部分。

Semicon AMC 监测器具有独特的多功能性，可在不同的工厂环境中轻松部署。 Semicon AMC 监测器提供原位移动测量，可对特定重要的粘性和活性污染物进行精确的 AMC 控制和泄漏检测。

材料用 CDA 吹扫后直接进行测量。每个时间序列都显示了用 3 种不同的电离化学方法同时进行的化合物测量。

TOFWERK Semicon AMC 监测器是同时监测酸、碱、冷凝物和 VOCs 的理想解决方案。通过使用 TOFWERK 获得专利的快速极性切换和 Aim 反应器，可在毫秒级时间内同时报告每一类化合物，且碎片有限。附件可用于各种 AMC 监测应用。.

代表性化合物的检测限

AMC	中科院	分子	2s 检出限（ppbv）	1 分钟检测限（ppbv）
丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA）	108-65-6	C6H12O3	0.0065	0.0012
丙二醇甲醚（PGME）	107-98-2	C4H10O2	0.052	0.0094
甲基乙基酮（MEK）	78-93-3	C4H8O	0.421	0.075
醋酸乙酯（EA）	141-78-6	C4H8O2	0.104	0.019
环戊烷	287-92-3	C5H10	0.132	0.023
丙酮	67-64-1	C3H6O	0.002	0.0009
甲苯	108-88-3	C7H8	0.012	0.003
氨气	7664-41-7	NH3	0.408	0.072
氟化氢	7664-39-3	高频	0.011	0.0002
盐酸	132228-87-6	盐酸	0.526	0.095
硝酸	7697-37-2	HNO3	0.0072	0.0013
氯	7782-50-5	Cl2	0.001	0.0002