白光干涉仪全自动化检测微透镜阵列

中图仪器SuperViewW白光干涉仪全自动化检测微透镜阵列，设备满足高精度、大批量的检测要求！

技术参数

1.测量原理

基于低相干干涉原理，搭配垂直扫描干涉（VSI）、相移干涉（PSI）双算法，实现纳米级垂直分辨率，可精准捕捉微透镜阵列的三维表面高度信息，完成曲率半径、矢高、面型误差、表面粗糙度等核心参数的精准测量，即便参数出现纳米级偏差也能精准识别。

2.非接触式测量

检测过程中无任何物理接触，有效避免损伤微透镜精密微结构，适配非球面、高倾角等特殊结构微透镜的检测需求；

3.白光干涉3D测量

通过三维数据拟合技术，可快速重建微透镜完整3D表面形貌，为参数计算提供精准数据支撑。

4.在自动化检测方面

· 支持Mark标记点自动定位与位置纠偏，确保每个微透镜单元测量位置精准；

· 可导入前道工艺坐标数据，实现与生产工艺的无缝衔接；

· 能完成数千至数万个微透镜单元的自动化批量检测，全程无需人工干预；

· 支持检测数据的自动统计、合格判定与分Bin分类，检测效率与精准度双在线，契合微透镜阵列量产阶段的质检要求。

一台SuperViewW白光干涉仪全自动化检测微透镜阵列设备覆盖微光学制造多类核心应用场景，适配企业从研发到量产的全流程检测需求，是光通信、微光学器件制造企业的质检装备。

1.光通信光模块微透镜阵列检测，把控核心曲率、面型误差等参数，保障光耦合效率与信号稳定性；

2.适配VCSEL光学耦合透镜检测，精准测量纳米级几何参数，避免光路偏移问题；

3.在消费电子领域，可实现AR/VR微光学器件的三维形貌检测，满足微光学元件的高精度质控要求；

4.还能针对晶圆制造环节，完成晶圆级微透镜阵列的批量检测，即便晶圆上有数万微透镜单元，也能实现高效全覆盖。

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注：产品参数与服务可能根据技术升级实时更新，具体以新标准为准，详情可咨询客服获取产品完整资料

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