SuperView WT3000系列白光干涉共聚焦轮廓仪

　　SuperView WT3000系列白光干涉共聚焦轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它集成了白光干涉仪和共聚焦显微镜两种高精度3D测量仪器的性能特点于一身，能够对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像。当测量超光滑和透明的表面形貌时，可使用白光干涉模式获得高精度无失真的图像并进行粗糙度等参数的分析；当测量有尖锐角度的粗糙表面特征时，使用共聚焦显微镜模式实现大角度的3D形貌图像重构，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

　　SuperView WT3000系列白光干涉共聚焦轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

产品功能

1)    样件测量能力：白光干涉模式可在单一扫描模式下实现从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量，可测量0.1nm及以下的粗糙度和纳米级的台阶高度；共聚焦模式尖具备锐角度测量能力，可测量倾角接近90°的微观形貌。

2)    单区域自动测量：单片平面样品或批量样品切换测量点位时，可一键实现自动对焦、扫描等功能。

3)    多区域自动测量：可设置方形或圆形的阵列形式的多区域测量点位，一键实现自动条纹搜索、扫描等功能。

4)    自动拼接测量；支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能，配合影像导航功能，可自定义测量区域，支持数千张图像的无缝拼接测量。

5)    编程测量功能：支持测量和分析同界面操作的软件模块，可预先配置数据处理和分析步骤，结合自动单测量功能，实现一键测量。

6)    数据处理功能：提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能。

7)    数据分析功能：提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。

8)    批量分析功能：可根据需求参数定制数据处理和分析模板，针对同类型参数实现一键批量分析。

9)    数据报表导出：支持word、excel、pdf格式的数据报表导出功能，支持图像、数值结果的导出。

10)    故障排查功能：白光干涉模式中，配置诊断模块，可保存扫描过程中的干涉条纹图像；

11)    便捷操作功能：设备配备操纵杆，支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等。

12)    环境噪声评价：具备0.1nm分辨率的环境噪声评价功能，定量检测出仪器受到外界环境干扰的噪声振幅和频率，为设备调试和故障排查提供定量依据。

13)    气浮隔振功能：采用气浮式隔振底座，可有效隔离地面传导的振动噪声，确保测量数据的高精度。

14)    光源安全功能：光源设置无人值守下的自动熄灯功能，当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源，防止光源高亮过热损坏，并有效延长光源使用寿命。

15)    镜头安全功能：双重防撞保护，软件ZSTOP防撞保护，设置后即以当前位置为位移下限位，不再下移且伴有报警声；设备配备压力传感器，并在镜头处进行了弹簧结构设计，确保当镜头碰撞后弹性回缩，进入急停状态，大幅减小碰撞冲击力，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。

应用领域介绍

　　对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

半导体制造（减薄粗糙度、镭射槽道轮廓）	光学元器件 曲率&轮廓尺寸&粗糙度
（超精密）加工.轮廓尺寸&角度	表面工程（摩擦学）.轮廓面积&体积
3C电子（玻璃屏） 粗糙度	光学膜片材料微观结构

样品测试报告

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恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。