全自动真空等离子清洗机

全自动真空等离子清洗机VP-A系列，凝聚善准等离子体技术之精髓，将等离子处理工艺的优化精度提升至全新高度，为高质量生产与前沿研究提供强大支撑。

善准VP-A系列全自动真空等离子清洗机提供四大关键工艺参数的自由优化：处理时间、气体流量、气体种类及功率。VP-A系列标配双通道气体质量流量控制器（MFC），流量控制精度达±1%，调节范围覆盖0-300sccm，触摸屏支持多达20种气体的便捷选择与控制，几乎涵盖所有等离子处理工艺所需气体，显著提升了工艺的可靠性、重复性与精细度。

VP-A系列提供三款标准型号：VP-A5（石英腔体）、VP-A6（不锈钢腔体）、VP-A7（旋转腔体，适用于块体及粉末样品处理）。

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