【速普仪器】Mini Coater磁控离子溅射仪

其它参数

真空泵：国产旋片泵

抽速：＞4 m³/h

极限真空：＜2 Pa

工作气压：5^-10 Pa

抽真空时间：＜2 min

真空规：皮拉尼真空计

样品腔室尺寸：φ120*120mm

样品腔室材质：石英玻璃/不锈钢

磁控溅射靶：φ50*0.1mm

溅射电源：磁控DC直流溅射电源

电源功率：1-20W

电源电流：60mA Max.

操作方式：触摸屏一键式控制

选配件：旋转/偏转样品台

    采用旋片泵快速产生一个 < 2 Pa的真空压强，通常抽真空时间小于1 分钟。采用磁控溅射技术，以大幅度减少等离子体对样品的热影响和离子轰击损伤。特别适用于灯丝或台式SEM 电镜样品的喷金、喷铂等贵金属镀膜用途。外型紧凑，触摸屏控制，即插即用。

        选配旋转/偏转样品台，适用于3D立体和空隙样品内/外表面均匀镀膜需求。

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