MINI 120/150 离子溅射仪

MINI 120/150 离子溅射仪

可喷镀金属：Au、Pt、Pd、Ir 等

• 磁控溅射阴极技术：喷镀细腻、无热损伤

• 触摸屏一键自动化：使用便捷、省时省心

• 模块化旋转样品台：3D 样品喷镀

产品介绍 

过去十年，随着灯丝及电子光路的优化，特别是化合物灯丝的使用，灯丝电镜分辨率进一步提升，从典型的几千倍到几万倍量级，甚至达到传统入门级场发射电镜水平。

离子溅射仪相应地也从二极溅射升级到磁控溅射为主。通常 <2 万倍内，喷 Au 为主，2-10 万倍区间以喷 Pt 为主，足以应对大多数灯丝 SEM 场景。

针对越来越多 3D 样品场景（粉末、颗粒、多孔、纤维等样品），我们自主设计了模块化的数显样品旋转台。倾角式行星旋转模式使得薄膜沉积更均匀，且可实现立体角旋转 喷镀，解决了样品侧面的绕镀问题，对于 3D 粉末类、多孔类及隔膜类样品 SEM 制样特别友好。

基本参数

MINI 120/150 离子溅射仪信息由深圳市速普仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于MINI 120/150 离子溅射仪报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。