电镜附件及外设TEM cube样品杆清洁储存站

电镜附件及外设TEM cube样品杆清洁储存站

(TEM&SEM样品及样品杆清洁贮存解决方案)

(一)TEM cube高真空TEM样品杆储存、泄漏检查和等离子清洁腔室

TEM cube带有8个样品杆适配器(适配JEOL、Hitachi、Thermo Fisher/FEI和ZEISS的TEM样品杆，最多 8 个，每侧 4 个)，并配等离子源和真空泵工作站，涡轮分子泵版本的极限真空在 10-7Torr 量级（亦可选干式涡旋泵抽真空），腔室尺寸：9 英寸 X 9 英寸 X 9 英寸；腔室门：带锁定旋钮的铰链玻璃门。主要应用：用于 TEM 样品杆、TEM 样品和大型 EM 组件的高真空存储；原位TEM样品杆和芯片泄漏检查；TEM样品杆、样品和组件的等离子清洁。注：EM-KLEEN远程等离子源采用室内空气、氧气或氢气作为处理气体产生氧或氢自由基，用于SEM&TEM样品清洁；EM-KLEEN等离子源也可被取出并安装在SEM、FIB和XPS系统上，用于真空腔室清洁。

(一)TEM样品杆真空储存站

TEM样品杆真空泵站可在真空条件下存放最多6个TEM样品杆(适配JEOL、Hitachi、Thermo Fisher/FEI和ZEISS的TEM样品杆)，帮助样品和样品杆放气，去除水气凝结，保持样品和样品杆的清洁。也可用于样品杆的检漏。

● 每台设备含6个存储单元

● 每个存储单元都可以通过电磁阀进行独立的抽放。当取出其中一个样品杆时，其余的单元仍可保持在真空状态下

● 多个存储系统可共享一个真空泵，也可与Tergeo-EM系统共用一个真空泵

● 可选无油干式涡旋泵或涡轮泵站

● 真空泵与储存站分开，必要时易于维护和维修

● 真空管路全金属管设计，可最大限度地减少排气，从而减少污染

● 略高于室温的稳定的操作温度设计，有利于样品杆更快放气

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