TCU Series 精密恒温恒湿机

TCU Series 精密恒温恒湿机

TCU Series Thermal Control Unit

• 设备特点

• 
  

• 精密温湿度控制，确保曝光机、显影/ 涂布设备等制程良率

• 可根据客户需求风量定制，送风单元结构均匀布置

• 温度控制的精度可达目标温度±0.01℃，确保产线环境的稳定性及产品的良率

• 产品应用

• 
  

• 温度控制精度

  ±0.1℃~±0.01℃

• 湿度控制精度

  ±2%RH~±1%RH

• 适用领域

  主要用于面板厂、晶圆厂、封装测试厂精密温湿度控制

TCU Series 精密恒温恒湿机信息由北方华创科技集团股份有限公司为您提供，如您想了解更多关于TCU Series 精密恒温恒湿机报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。