APS Series 感应式SiC长晶炉

APS Series 感应式SiC长晶炉

APS Series Induction SiC Crystal Growing Furnace

• 设备特点

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• 适用于6、8英寸，导电/高纯半绝缘型SiC晶体生长

• 专业的结构设计，提供高纯材料生长能力

• 适于长时/高温/低压工艺，拓宽高质量/大规模晶体生长窗口

• 包含多款辅助设备，大产能原料合成炉、晶锭退火炉、AlN长晶炉及其他

• 产品应用

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• 晶圆尺寸

  6、8英寸

• 适用材料

  碳化硅、氮化铝

• 适用工艺

  物理气相输运法（PVT 法）

• 适用领域

  化合物半导体、衬底材料、科研领域

• 加热方式

  感应加热

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