AGF Series 电阻式SiC长晶炉

AGF Series 电阻式SiC长晶炉

AGF Series Resistance SiC Crystal Growing Furnace

• 设备特点

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• 适用于6、8英寸，导电/高纯半绝缘型SiC晶体生长

• 4组加热器独立控制，灵活的温场调节能力

• 坩埚系统具备升降、旋转功能，温场更均匀

• 下装载，上维护，操作便捷

• 产品应用

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• 晶体尺寸

  6、8 英寸

• 适用材料

  碳化硅

• 适用工艺

  物理气相输运法（PVT 法）

• 适用领域

  化合物半导体、科研、衬底材料

• 加热方式

  电阻加热

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