大東流离子注入机iPUMA-LE

大東流离子注入机iPUMA-LE

iPUMA-LE是华海清科在已有成熟垂直带状束流的基础上，根据行业先进技术的要求开发的12英寸水平带状大束流离子注入机。该装备运用了先进的束流爬坡技术，集成了磁场和电场模块，并搭载精准的量测技术，展现了良好的离子选能力和精准度，满足多种制程技术需求，已在集成电路制造中应用。

水平束流爬坡技术

磁场和电场双重筛选技术

束流调试能力处于国内领先水平

适用于各种半导体工艺技术

大東流离子注入机iPUMA-LE信息由华海清科股份有限公司为您提供，如您想了解更多关于大東流离子注入机iPUMA-LE报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。