真空快速退火炉/快速退火炉/RTP

• 详细介绍

• RTP-100/150快速退火炉为德国优尼坦公司生产，分为RTP-100, RTP-150, RSO-200,VPO-300共四个型号，分别对应4英寸、6英寸、8英寸、12英寸的真空快速退火炉产品。

  技术规格：

  - 高温度：1200摄氏度；

  - 升温速率：150摄氏度/秒；

  - 降温速度：200摄氏度/分钟 (1000摄氏度-->400摄氏度)；

  - 温控均匀性：≤ 1.5%设定温度；

  - 加热方式：红外卤素灯，顶部及底部加热；

  - 灯管数量及功率：18支/20千瓦(RTP-100)，24支/21千瓦(RTP-150)；

  - 腔体冷却：水冷方式；

  - 衬底冷却：氮气吹扫；

  - 工艺气路：MFC控制，最多4路 (氮气、氩气、氧气、氢氮混合气等)；

  - 主机尺寸及重量：505mm x 504mm x 420mm (W x D x H)，约55Kg；

  
  

  仪器特点：

  - 真空快速退火炉，有低真空型号(10-3 hPa)、高真空型号(10-6 hPa)；

  - 可在不同气氛环境下使用，如惰性气体、氧气、氢氮混合气等；

  - 控制方式：SIMATIC, SPS人机界面控制，7英寸触摸屏；

  - 可存储50个程序，每个程序最多分为50段控制；

  - 全自动智能控制，包括温度、时间、气体流量、真空度、循环水均可自动设置；

  - 优异的温控均匀性，佳的工艺重现性；

  - 小尺寸台式设计；

  应用领域：

  - 离子注入/接触退火；

  - 快速热处理(RTP)，快速退火(RTA)，快速热氧化(RTO)，快速热氮化(RTN)；

  - 可在真空、惰性气氛、氧气、氢气、混合气等不同环境下使用；

  - SiAu, SiAl, SiMo合金化；

  - 低介电材料；

  - 晶体化，致密化；

  - 太阳能电池片键合；

  等等...

  参考客户：

  西安交通大学、西安电子科技大学、中国科技大学、江汉大学、中科院上海技术物理所、中科院苏州纳米所、北京航天仪器研究所、京东方、武汉光迅、能华微电子等。

  
  

真空快速退火炉/快速退火炉/RTP信息由上海麦科威半导体技术有限公司为您提供，如您想了解更多关于真空快速退火炉/快速退火炉/RTP报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。