N1913A EPM 系列单通道功率计
参考价:¥5422
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参数
| 基片尺寸:2 | 前驱体源路数:3 | 前驱体管路温度:3 |
| 源瓶加热温度:2 | ALD阀:5 | 本底真空:6 |
| 载气系统:63 | 生长模式:5 | 控制系统:5 |
| 电源:52 | 沉积非均匀性:85 | 设备尺寸:5 |
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