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当前位置:分析测试百科网 仪器谱 原子层沉积系统(ALD) N1913A EPM 系列单通道功率计

N1913A EPM 系列单通道功率计

N1913A EPM 系列单通道功率计封面图
N1913A EPM 系列单通道功率计
  • N1913A EPM 系列单通道功率计
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参考价:¥5422
品牌:是德科技 产地:中国 型号:N1913A 样本:点我免费下载样本
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参数
基片尺寸:2 前驱体源路数:3 前驱体管路温度:3
源瓶加热温度:2 ALD阀:5 本底真空:6
载气系统:63 生长模式:5 控制系统:5
电源:52 沉积非均匀性:85 设备尺寸:5