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WLI: 白光干涉测量是一种光学技术,它可以对非常宽的区域进行成像,速度非常快,满足高吞吐量测量。
AFM: 原子力显微镜是一种扫描探针技术,即使对透明材料也能提供最精确的纳米级分辨率测量。
WLI和AFM在视野,分辨率和速度方面完美结合。
先进的化学机械抛光计量和监测
先进封装
全掩模的热点和缺陷检测
晶圆级计量
In-line 晶圆计量
长行程CMP轮廓表征
亚埃级表面粗糙度控制
晶圆检验与分析
Park WLI支持WLI和PSI模式(PSI模式由电动过滤器变换器 支持)
可用物镜放大倍数:2.5X 、10X、20X、50X、100X
两个物镜可由电动线性换镜器自动更换
扫描 Mirau 物镜高度时,由干涉引起的光强变化可以计算每个像素处的样品表面高度
白光干涉测量 (WLI) 和相移干涉测量 (PSI) 是两种常用的表面表征技术
可以通过比较参考和目标样品区域的图像来检测图案结构的热点
WLI 的高速“热点检测”可以快速定位缺陷位置,以进行高分辨率 AFM 审查
帕克 NX-Hybrid WLI 全自动工业 WLI-AFM 系统 热点缺陷自动审查,Park NX-Hybrid WLI
帕克 NX-Hybrid WLI 全自动工业 WLI-AFM 系统 热点缺陷自动审查信息由Park帕克原子力显微镜为您提供,如您想了解更多关于帕克 NX-Hybrid WLI 全自动工业 WLI-AFM 系统 热点缺陷自动审查报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
世界领先的原子力显微镜制造商帕克原子力显微镜公司( Park Systems,以下称帕克公司)宣布推出 Park NX-Hybrid WLI, 这是首个将原子力显微镜 (AFM) 与白光干涉仪 (WLI) 轮廓测量技术联用相结合的半导体机台。 白光干涉测量 (WLI) 是一种无损伤、非接触式的光学技术,用于生成高保真的2D 和 3D 的轮廓模型,现在广泛用于半导体生产质量保证。 帕克公司推出 的Park NX-Hybrid WLI 作为一种强大的半导体计量
帕克 NX10 原子力显微镜
Park原子力显微镜纳米光刻和纳米操作的智能化软件SmartLitho™
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