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在近代科学技术的许多领域中对各种薄膜的研究和应用日益广泛。因此,更加精确和迅速的测定给定薄膜的光学参数已变得更加迫切和重要。在实际工作中可以利用各种传统的方法测定光学参数,如:布儒斯特角法测介质膜的折射率,干涉法测膜厚,其它测膜厚的方法还有称重法、X射线法、电容法、椭偏法等。由于椭圆偏振法具有灵敏度高、精度高、非破坏性测量等优点,因而,椭圆偏振法测量已在光学、半导体、生物、医学等诸多领域得到广泛应用。
规格与主要技术指标: 测量范围:薄膜厚度范围:1nm-300nm; 折射率范围:1-10 测量zei小示值:≤1nm 入射光波长:632.8nm 光学中心高:80mm 允许样品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm 偏振器方位角范围:0°- 180°读取分辨率为0.05° 测量膜厚和折射率重复性精度分别为:±1nm和±0.01 主机重量:25kg 入射角连续调节范围:20°- 90°精度为0.05°
仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率,具有精度高、灵敏度高以及方便测量等特点; 光源采用氦氖激光器,功率稳定、波长精度高; 仪器配有生成表、查表以及精确计算等软件,方便用户使用。
椭圆偏振测厚仪,TPY-1 型
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