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ALICAT 低压损质量流量控制器
产品描述:
量程0-0.5SCCM到0-500SLPM,200:1的量程比,内置98种气体,100ms快速响应时间,优于1%的精度
产品特点
美国ALICAT 低压损低压降质量流量控制器,采用专利技术的内部补偿型层流压差技术,使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异,并对用户标准工况进行修正。所有Alicat质量流量控制器均具有NIST可溯源校准证书。Alicat的低压损数字式质量流量控制器具有超低压损,满量程压损最低可达360Pa。低压损系列可用于快速精确地测量过程气体的质量流量、体积流量、压力和温度,适用于多种流量测控场合,尤其是要求低压损的应用场合。
● 数字化产品● 多参数显示和输出:温度、压力、流量等● 多参数可控:质量流量、体积流量和压力● 可选高精度:可优于0.5%● 高量程比 200:1● 满量程超低压损最低为360Pa● 阀门响应时间快 仅需100ms● 内置98种气体● 可现场标定混合气体(最多5种成分),并存储20种混合气
技术参数
产品选型
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