氦气氟油加压检漏装置

产品特点

可随时监测氮气罐内的油位

自动化程度高,具有较高的可靠性

应用领域

专门针对半导体器件、集成电路、电子产品等电子元器件进行细检和粗检的一套自动化检漏装置。

技术指标

• 加压罐本底真空度优于50Pa

• 真空测量：热偶计

• 充气压力：≤1.0MPa

• 加热温度：125℃土5℃

• 升温时间：从室温到125℃ ≤30分钟

• 工作电压：220VDC 50Hz

• 仪器功率：1.5KW （加热功率：0.4KW）

• 照明灯：12VDC 10W

• 氦气罐尺寸：157×246，单位：mm

• 氮气罐尺寸：157×246，单位：mm

• 过滤油罐过滤颗粒大小：≤5

产品特性

氦气氟油加压检漏装置是专门针对半导体器件、集成电路、电子产品等电子元器件进行细检和粗检的一套自动化检漏装置。该装置上装备有PLC(可编程程序控制器)，对整个检漏过程可以进行自动控制和运行，可有效防止误操作和提高检漏效率。而且在该设备的氮气罐上装有光电检测设备，可随时监测氮气罐内的油位。该设备自动化程度高，具有较高的可靠性。它与氦质谱检漏仪和重氟油加热仪配合使用，可以进行电子元器件的整个细检和粗检过程。

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