瑞柯微 低阻型四探针测试仪 FT-361B

产品概述

瑞柯微 FT-361B 低阻型四探针测试仪采用四探针法与范德堡测量原理，可测量材料方块电阻与电阻率，量程覆盖 10^-6～2×10^5Ω/□与 10^-6～2×10^5Ω・cm。仪器支持自动正 / 负电流输出、自动正 / 负电压测量，配备液晶显示与中英文界面，兼容 PC 软件数据分析，符合 ASTM F84、GB/T1551、GB/T1552 等标准，适用于硅片、半导体材料、薄膜等低阻样品检测，测试过程稳定，操作简便，可满足科研与工业检测需求。

产品介绍

瑞柯微 FT-361B 是一款低阻型四探针测试仪，以四探针法为测试方式，结合范德堡测量原理，可完成方块电阻、电阻率、电导率等参数测量。仪器适配宽量程测试，可用于低阻至中高阻样品检测，具备自动正 / 负电流输出、自动正 / 负电压测量功能，搭配液晶显示与中英文操作界面，可直观显示电阻、电阻率、温度、电流、电压等数据，支持 PC 软件通讯与数据分析，可满足实验室与生产线测试需求。

产品优势

1. 宽量程测量：方块电阻与电阻率量程达 10^-6～2×10^5，适配低阻样品测试。

2. 自动测量：自动正 / 负电流输出、自动正 / 负电压测量，降低人为操作误差。

3. 双界面易用：中英文操作界面 + 液晶显示，参数显示完整，操作简单。

4. 数据可追溯：支持 PC 软件通讯，可实现数据采集、分析与存储。

5. 探头可搭配：探针间距、材质可选择，适配不同样品尺寸与测试场景。

6. 标准合规：符合硅及半导体材料电阻率测试相关标准，测试结果可靠。

参照标准

1. ASTM F84 硅片电阻率测量标准

2. GB/T 1551 硅单晶电阻率测定方法

3. GB/T 1552 硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法

工作原理

采用直流四探针法与范德堡测量原理，通过四根等间距探针与样品表面接触，恒流源向外侧两根探针施加恒定电流，内侧两根探针采集电压信号，依据电压、电流与样品几何参数计算方块电阻、电阻率与电导率。仪器自动切换正 / 负电流与电压测量，减少热电势干扰，利于低阻样品测试。

技术参数

表格

适用场景

1. 半导体硅片、锗单晶电阻率与方块电阻测试

2. 导电薄膜、金属薄膜、透明导电膜方阻测量

3. 低阻导电材料、复合材料电性能检测

4. 科研院校材料分析实验室

5. 半导体器件生产企业质量检测

6. 材料研发与工艺验证测试

操作流程

1. 仪器通电预热，保持电源稳定。

2. 安装测试探头，连接测试线与 PC 软件（可选）。

3. 放置样品于测试平台，保持探针与样品良好接触。

4. 选择测试电流档位，设置样品厚度、探针间距等参数。

5. 启动测试，仪器自动测量并显示电阻、电阻率、方阻等数据。

6. 记录或导出数据，测试完成后关闭电源，整理样品与探头。

维护保养

1. 保持探头清洁，避免探针针尖磨损、污染，定期检查探针弹性。

2. 仪器放置于干燥、无尘、无腐蚀性气体环境，避免震动与碰撞。

3. 定期用标准电阻校准，保持测试一致性。

4. 避免频繁开关机，长期不用时切断电源，加盖防尘罩。

5. 测试线避免弯折、拉扯，损坏及时更换。

6. 非授权人员不得拆卸仪器内部组件。

服务项目

1. 标准配置含主机、测试线、探头等配件。

2. 可搭配 PC 分析软件、测试平台、标准电阻、温度传感器。

3. 提供产品操作培训与技术支持。

4. 可提供计量检测证书。

5. 支持 1-3 年延保服务。

6. 提供探头、探针等耗材更换服务。