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三重离子束的斜面切割功能为扫描电镜分析样品提供精确和高效的样品制备
减薄深度速度 1500um 120um/H 三束离子枪 高真空,内置2级泵
大多数的材料都能削减到高质量的横截面 TEM样品断面快速制用 大样品制备可达到50X50X10 mm 大面积切割FIB技术 前机械处理工作减到zei少 三重离子束的铣削率高,切面宽而深 SEM截面样品使用EDS,WDS,AUGER AND EBSD
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