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全计算机控制的多功能离子减薄系统,有高度的灵活性.
减薄角度可调由0º至90º 主机内置2级泵,确保高真空
减薄角度可调由0º至90º 一体化设计,重复性实验设备,可靠具操作性 全电脑控制,精确的参数调整,运行中无需人干涉 鞍式离子枪,高能量-快速蚀刻 制冷系统,铜传导,确保TEM,SEM在低温下操作 主机内置2级泵,确保高真空 减少装卸时间,高效率 操作简便直观,带自保护防止离子溢出与过热功能 法拉力环检查样品是否穿孔,自动终止功能 装载闸保持系统高真空度稳定不变 减薄过程中离子能量高低可调 内置视频监视器,直接观察样品减薄情况 可编程,触摸屏设计,直观操作
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