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分辨率高,低加速电压下实现高分辨成像
电磁复合物镜,减小像差,显著提高低电压下的分辨率,而且可观察磁性样品
高压隧道技术(SuperTunnel) ,在隧道中的电子能保持高能量,减少了空间电荷效应,低电压分辨率得到保证
电子光路无交叉,有效的降低系统像差,提升分辨能力
水冷恒温物镜,保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性
磁偏转六孔可调光阑,自动切换光阑孔,无需机械调节,实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换
应用领域
产品参数关键参数分辨率1.0 nm @ 15 kV1.5 nm @ 1 kV加速电压20 V ~ 30 kV放大倍率1 ~ 2,500,000 x电子枪类型高亮度肖特基场发射电子枪样品室真空系统全自动控制,无油真空系统摄像头双摄像头(光学导航+样品仓内监控)行程X: 115 mm,Y: 115 mm,Z: 65 mmT: -10°~ +70°, R: 360°探测器和扩展标配镜筒内高角度电子探测器侧向低角度电子探测器选配平插式中角度背散射电子探测器STEM自动伸缩式扫描透射探测器样品交换仓高速束闸和电子束曝光EDS能谱仪EBSD背散射衍射EBIC电子束感生电流CL阴极荧光高低温原位拉伸台纳米机械手大图拼接软件语言中文操作系统Windows导航光学导航、手势快捷导航自动功能自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散点击查看大图
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SEM5000是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描电子显微镜。先进的镜筒设计,高压隧道技术(SuperTunnel)、低像差无漏磁物镜设计,实现了低电压高分辨率成像,同时磁性样品可适用。光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互,优化的操作和使用流程,无论经验是否丰富,都可以快速上手,完成高分辨率拍摄任务。
高亮度肖特基场发射电子枪
1.0 nm @ 15 kV1.5 nm @ 1 kV
1 ~
国仪量子国产扫描电镜(SEM)SEM5000 场发射扫描电镜 ,SEM5000
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