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X射线光谱仪除光电吸收外,入射光子还可与原子碰撞,在各个方向上发生散射。x射线与物质的散射是由于x射线光谱仪与电子的相互作用而产生。散射作用分为两种,即相干散射和非相干散射。如果被散射光子能量与入射光子能量相同,则称为相干散射或弹性散射,相干散射又称为瑞利散射,没有能量损失。如果出现能量变化或损失,则为非相千散射,也称为康普顿散射。
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