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这个独特的校准标样直接溯源于硅晶体的晶格常数,它能用来对所有透射电镜进行三项专业的标定和校正: • 放大倍率(全范围) • 相机常数 • 像与衍射花样之间的磁转角 放大倍率校准是电镜中zei普遍的校准,因为确定电镜本身显示的或图像上的放大倍率数值是否准确,以及如果不准该如何修正,这是很重要的工作。有了独特的MAG*I*CAL校准标样,你就可以在大约1000x至1,000,000x全范围内对一台透射电镜的放大倍率进行校准。由于样品本身是一个单晶体,它也能用来对相机常数以及像/衍射花样的磁转角进行校准。尽管MAG*I*CAL校准标样是为TEM在材料科学领域应用而研发的,但在生命科学领域也同样有用。 MAG*I*CAL校准的参考标准是一个离子减薄过的硅基半导体多层截面TEM样品。它含有4组由5层10nm厚SiGe合金层和13nm厚纯硅层相间隔组成的结构。分子束外延(MBE)法生长的高质量外延层作为单晶硅001衬底上的应变层。这样的4组交替相间的结构层(超晶格)为TEM成像提供明暗对比,并且是以硅111面晶格间距作为单晶硅衬底上的测量依据通过高分辨透射电镜(HREM)直接校准的,标样上的校准标记直接引用一个自然常数,即硅的晶格常数,这样MAG*I*CAL就可完整追溯到一个自然的基本常数。
透射电镜校准标样,MAG*I*CAL
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