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1.技术参数:
输入电压
AC220V±10%,50Hz
工作电压
DC2400V
最大功率(主机与机械泵)
500W
可选靶材
金、铂、银、铜、铝、铅等常用金属
真空泵
两级直联旋片式真空泵 1L/s
真空腔
φ128×130mm
样品杯
φ90×1 / φ25×4 / φ15×6
整机尺寸(长×宽×高)
424×271×255(mm)
重量(主机)
11 kg
工作环境
温度 5~40℃,湿度<60%
存储环境
温度-10~60℃,湿度<80%
工作气体
Air / Ar
保护功能
过流、真空双保护
2.处理效果:(金靶,颗粒尺寸20~50nm)
处理前
处理后
直流离子溅射仪,GVC-1000
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